據(jù)“吳中發(fā)布”公眾號(hào)消息，7月24日，清研半導(dǎo)體高品質(zhì)碳化硅單晶材料及裝備項(xiàng)目簽約儀式在澹臺(tái)湖畔舉行，蘇州清研半導(dǎo)體科技有限公司正式落戶(hù)吳中經(jīng)開(kāi)區(qū)，未來(lái)將投資50億元用于第三代半導(dǎo)體材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。
公開(kāi)資料顯示，蘇州清研半導(dǎo)體科技有限公司是一家SiC襯底生產(chǎn)廠(chǎng)商，由清華大學(xué)校友團(tuán)隊(duì)聯(lián)合產(chǎn)業(yè)屆資深人士發(fā)起創(chuàng)立，擁有近10名畢業(yè)于清華的博士和碩士研發(fā)隊(duì)伍，致力于將高質(zhì)量SiC襯底產(chǎn)業(yè)化、高良率化、低成本化。公司首創(chuàng)MPVT工藝（雙系統(tǒng)），具有核心專(zhuān)利，實(shí)現(xiàn)單晶無(wú)缺陷生長(zhǎng)并利用國(guó)產(chǎn)熱場(chǎng)材料實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量SiC晶體生長(zhǎng)。此外，公司突破了LPE工藝，優(yōu)化助溶劑、接液判定裝置等。
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