2月15日，北京爍科中科信宣布本年度首臺(tái)大束流離子注入機(jī)在國(guó)內(nèi)某知名集成電路產(chǎn)線move in。
離子注入機(jī)是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備。北京爍科中科信稱，本臺(tái)設(shè)備是大束流離子注入機(jī)工程化最新成果的集中體現(xiàn)，在原有設(shè)備性能的基礎(chǔ)上，優(yōu)化了多項(xiàng)機(jī)臺(tái)核心參數(shù)，綜合WPH已實(shí)現(xiàn)與國(guó)際先進(jìn)機(jī)臺(tái)對(duì)標(biāo)。
據(jù)了解，北京爍科中科信電子裝備有限公司成立于2019年6月17日，公司源于中國(guó)電科第48研究所，是國(guó)內(nèi)唯一一家專注于集成電路領(lǐng)域離子注入機(jī)業(yè)務(wù)的高端裝備供應(yīng)商。公司產(chǎn)品聚焦集成電路主要應(yīng)用領(lǐng)域，兼顧化合物半導(dǎo)體、材料加工制備等領(lǐng)域，形成中束流、大束流、高能機(jī)、定制機(jī)、化合物半導(dǎo)體等系列化離子注入機(jī)產(chǎn)品體系。2022年8月，北京爍科中科信第4臺(tái)中束流離子注入機(jī)順利于某集成電路產(chǎn)線Movein；同年9月，北京爍科中科信中束流離子注入機(jī)交付。
