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          國內(nèi)首個用于量子芯片生產(chǎn)的激光退火儀研制成功

          2023-1-5 9:20:00
          • 集成電路 半導體設備 光量子芯片

          國內(nèi)首個用于量子芯片生產(chǎn)的激光退火儀研制成功

          據(jù)合肥日報報道,國內(nèi)首個專用于量子芯片生產(chǎn)的MLLAS-100激光退火儀(以下簡稱“激光退火儀”)已研制成功,可解決量子芯片位數(shù)增加時的工藝不穩(wěn)定因素,像“手術刀”一樣精準剔除量子芯片中的“瑕疵”,增強量子芯片在向多比特擴展時的性能,從而進一步提升量子芯片的良品率。

          報道顯示,該激光退火儀由合肥本源量子計算科技有限責任公司完全自主研發(fā),可達到百納米級超高定位精度,對量子芯片中單個量子比特進行局域激光退火,從而定向控制修飾量子比特的頻率參數(shù),解決多比特擴展中比特頻率擁擠的問題,助力量子芯片向多位數(shù)擴展。

          安徽省量子計算工程研究中心副主任賈志龍表示,這臺激光退火儀擁有正向和負向兩種激光退火方式,可以在生產(chǎn)過程中靈活調(diào)節(jié)多比特超導量子芯片中量子比特的關鍵參數(shù)。同時,該設備還可用于半導體集成電路芯片、材料表面局域改性處理等領域,目前已在國內(nèi)第一條量子芯片生產(chǎn)線上投入使用。

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