晶圓制造物流升級(jí)，國(guó)產(chǎn)AMHS廠商加緊追趕
在現(xiàn)代半導(dǎo)體晶圓制造工廠中，自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)（AMHS）被譽(yù)為企業(yè)高效運(yùn)作的“動(dòng)脈”，其貫穿全流程的重要性愈發(fā)突出。伴隨國(guó)內(nèi)晶圓廠建設(shè)潮的持續(xù)升溫，AMHS系統(tǒng)應(yīng)用正逐步深入，市場(chǎng)需求快速提升。而國(guó)內(nèi)廠商也迎來(lái)了前所未有的成長(zhǎng)機(jī)遇。
國(guó)產(chǎn)AMHS系統(tǒng)迎窗口期
當(dāng)下的高端AMHS市場(chǎng)，日系企業(yè)仍占大頭，兩家公司市占率合計(jì)高達(dá)九成。不過(guò)，伴隨國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造集群的崛起，國(guó)產(chǎn)廠商獲得了大量產(chǎn)線驗(yàn)證和技術(shù)積累機(jī)會(huì)。以蘇州新施諾半導(dǎo)體設(shè)備有限公司為代表的新興企業(yè)，正加速縮短與國(guó)際巨頭的距離。
在2025灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會(huì)上，新施諾現(xiàn)場(chǎng)展示了其第5代AMHS天車產(chǎn)品的真實(shí)運(yùn)行，吸引了業(yè)內(nèi)高度關(guān)注。該公司自2022年成立以來(lái)，依托資本、技術(shù)和團(tuán)隊(duì)的多方優(yōu)勢(shì)，取得顯著突破。尤其是與韓國(guó)SYNUS Tech等資深廠商的深度合作，提供了成熟研發(fā)平臺(tái)，使企業(yè)能夠高效切入高端市場(chǎng)，實(shí)現(xiàn)自有技術(shù)創(chuàng)新。
AMHS在制造流程中的職責(zé)與挑戰(zhàn)
AMHS通常由天車（OHT）、高架軌道、料庫(kù)、塔庫(kù)等硬件和上層調(diào)度控制軟件（如MCS、TCS、VCS）構(gòu)成。在生產(chǎn)線上，AMHS承擔(dān)著晶圓從一道工序到下一工序之間的全自動(dòng)搬運(yùn)任務(wù)，對(duì)穩(wěn)定性和智能化要求極高。
早期的6/8英寸生產(chǎn)線由于產(chǎn)能相對(duì)較低，設(shè)備與布局靈活，搬運(yùn)系統(tǒng)多采用半自動(dòng)的AGV等方案。隨著12英寸晶圓廠的大規(guī)模投產(chǎn)，對(duì)潔凈度、效率與產(chǎn)能的要求驟升，AMHS天車成為行業(yè)“標(biāo)配”，助力產(chǎn)線高效無(wú)損運(yùn)轉(zhuǎn)。
技術(shù)突破與系統(tǒng)驗(yàn)證
新施諾目前的核心業(yè)務(wù)，聚焦于半導(dǎo)體與顯示、動(dòng)力電池等高端制造環(huán)節(jié)。目前服務(wù)的晶圓廠均要求系統(tǒng)可適應(yīng)7×24小時(shí)無(wú)間斷運(yùn)行，最高規(guī)?？刹渴饠?shù)百臺(tái)OHT天車，每天搬運(yùn)指令量高達(dá)70萬(wàn)單以上。在大規(guī)模并發(fā)場(chǎng)景下，系統(tǒng)穩(wěn)定性成為“生死線”。據(jù)介紹，該公司已將單臺(tái)設(shè)備平均無(wú)故障搬運(yùn)次數(shù)（MCBF）提升至12萬(wàn)次以上，在行業(yè)內(nèi)處于先進(jìn)水平。
此外，高精度和低振動(dòng)亦是核心指標(biāo)。由于OHT天車結(jié)構(gòu)復(fù)雜，硬件集成度高，傳輸過(guò)程中的振動(dòng)幅度已經(jīng)被控制至0.5g以內(nèi)，定位精度也已實(shí)現(xiàn)±1毫米水準(zhǔn)，完全滿足高端晶圓生產(chǎn)線的對(duì)接需求。
新施諾認(rèn)為，除硬件可靠性外，調(diào)度算法和軟件架構(gòu)創(chuàng)新同樣不可或缺。其自主設(shè)計(jì)的MCS平臺(tái)，不僅兼容主流MES協(xié)議，還支持跨廠商、跨平臺(tái)協(xié)作，當(dāng)前已實(shí)現(xiàn)千臺(tái)級(jí)天車高效智能調(diào)度，可在線升級(jí)維護(hù)。此外，在數(shù)據(jù)庫(kù)優(yōu)化、運(yùn)維便利性等多方面完成了升級(jí)，進(jìn)一步推動(dòng)系統(tǒng)部署效率。
持續(xù)迭代對(duì)標(biāo)國(guó)際，補(bǔ)齊短板
雖然國(guó)產(chǎn)AMHS加速追趕，但與國(guó)際頭部廠商相比，在設(shè)備長(zhǎng)期可靠性、電磁干擾抑制、系統(tǒng)輕量化設(shè)計(jì)等方面仍有差距。新施諾已啟動(dòng)下一代產(chǎn)品的系統(tǒng)化升級(jí)，包括提升車體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、內(nèi)部布線、電路板布局等多個(gè)環(huán)節(jié)，致力于攻克產(chǎn)業(yè)難題。
企業(yè)方面判斷，隨著內(nèi)需市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大，未來(lái)行業(yè)格局將逐漸向“寡頭主導(dǎo)、產(chǎn)業(yè)協(xié)作”的方向發(fā)展。新施諾正借力本地化服務(wù)和成本優(yōu)勢(shì)，加速搶占核心市場(chǎng)，努力躋身行業(yè)主力陣營(yíng)，成為推動(dòng)國(guó)產(chǎn)AMHS高質(zhì)量發(fā)展的中堅(jiān)力量。
