近期，一則“7納米光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化”消息在業(yè)界刷屏，消息指出清華大學(xué)EUV項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)國產(chǎn)化，并表示該項(xiàng)目已在雄安新區(qū)落地。
對(duì)此，9月18日中國電子院官微進(jìn)行了澄清。該項(xiàng)目不是國產(chǎn)光刻機(jī)工廠，而是北京高能同步輻射光源項(xiàng)目（HEPS），而且項(xiàng)目位于北京懷柔雁棲湖畔。
HEPS可以看成是一個(gè)超精密、超高速、具有強(qiáng)大穿透力的巨型X光機(jī)。它產(chǎn)生的小光束可以穿透物質(zhì)、深入內(nèi)部進(jìn)行立體掃描從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界HEPS，是進(jìn)行科學(xué)實(shí)驗(yàn)的大科學(xué)裝置。
據(jù)悉，上述項(xiàng)目在2019年始建設(shè)，將在2025年底投入使用，是我國第一臺(tái)高能量同步輻射光源，也是世界上亮度最高的，第四代同步輻射光源之一。
項(xiàng)目由全國勘察設(shè)計(jì)大師、國投集團(tuán)首席科學(xué)家婁宇帶隊(duì)，中國電子院多個(gè)技術(shù)科研和設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)協(xié)同合作，從項(xiàng)目可研立項(xiàng)到項(xiàng)目落地攻克了多項(xiàng)技術(shù)和工藝難關(guān)。目前高能同步輻射光源配套工程已全面完工。
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