近日，南大光電發(fā)布投資者關(guān)系活動記錄表，透露旗下已有兩款 ArF 光刻膠進入批量驗證階段。
南大光電表示，ArF 光刻膠驗證階段主要分為 PRS（光刻膠性能測試）、STR（小試）、MSTR（批量驗證）及 Release（通過驗證）四個階段。公司已有兩款膠通過客戶驗證，多款膠正在驗證過程中。驗證中的 ArF 光刻膠因開始時間不一，驗證進度也不同，其中有兩款膠進入 MSTR 階段。
南大光電稱，當(dāng)前公司光刻膠事業(yè)部主要任務(wù)是盡快完成更多產(chǎn)品的驗證，加強市場拓展，爭取早日實現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)，形成業(yè)績貢獻。公司用于生產(chǎn) ArF 光刻膠的核心原材料，由公司自主研發(fā)，對于國內(nèi)具備供應(yīng)能力的原材料，通過外購解決。
同時，南大光電透露，公司去年發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券募集資金 9 億元，其中 8000 萬元用于實施“年產(chǎn)140 噸高純磷烷、砷烷擴產(chǎn)及砷烷技改項目”，計劃通過擴建和技改，增加磷烷年產(chǎn)能 70 噸、砷烷年產(chǎn)能 70 噸。截至目前，項目已建成 70 噸砷烷產(chǎn)能和 35 噸磷烷產(chǎn)能，后續(xù)建設(shè)正在穩(wěn)步推進中
封面圖片來源：拍信網(wǎng)
