近日，晶盛機(jī)電子公司慧翔電液半導(dǎo)體級(jí)直拉單晶超導(dǎo)磁場(chǎng)研發(fā)取得新突破——12英寸干式橫向超導(dǎo)磁場(chǎng)首次突破5000Gs，這標(biāo)志著慧翔電液成為國(guó)內(nèi)首家能穩(wěn)定量產(chǎn)5000Gs的MCZ超導(dǎo)磁體企業(yè)。
晶盛機(jī)電表示，本次“5000Gs”的超導(dǎo)磁體到來，將極大地改善設(shè)備拉晶效果，為高端半導(dǎo)體拉晶工藝奠定基礎(chǔ)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)直拉硅單晶工藝的差異化需求。
晶盛機(jī)電控股子公司慧翔電液，自2016年起便專注于磁性流體密封技術(shù)、半導(dǎo)體單晶爐用超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、尾氣處理裝置等研發(fā)銷售。
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