5月21日，半導(dǎo)體設(shè)備廠商華海清科發(fā)布公告稱，公司新一代12英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile-GP300量產(chǎn)機(jī)臺(tái)出機(jī)發(fā)往集成電路龍頭企業(yè)。
華海清科表示，12英寸超精密晶圓減薄機(jī)是業(yè)內(nèi)首次實(shí)現(xiàn)12英寸晶圓超精密磨削和CMP全局平坦化的有機(jī)整合集成設(shè)備。Versatile-GP300量產(chǎn)機(jī)臺(tái)進(jìn)入大生產(chǎn)線，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)芯片裝備行業(yè)在超精密減薄技術(shù)領(lǐng)域的空白。
當(dāng)前，得益于國(guó)產(chǎn)替代預(yù)期加持，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商即使在行業(yè)低迷的環(huán)境下，依然一枝獨(dú)秀。各大廠商的營(yíng)收和訂單量都出現(xiàn)大幅增長(zhǎng)，研發(fā)進(jìn)展也陸續(xù)傳來(lái)佳音。
例如，萬(wàn)業(yè)企業(yè)曾在互動(dòng)平臺(tái)上表示，嘉芯半導(dǎo)體預(yù)計(jì)2025年將成為達(dá)到年產(chǎn)2450臺(tái)8吋和12吋主制程及支撐制程設(shè)備的研發(fā)制造基地，并透露公司旗下凱世通的離子注入機(jī)訂單均為集成電路離子注入機(jī)。
2022年，至純科技新增訂單42.19億元，同比增長(zhǎng)30.62%，其12英寸爐管設(shè)備正在研發(fā)制造，即將進(jìn)入客戶驗(yàn)證階段；8英寸涂膠顯影設(shè)備已交付客戶驗(yàn)證，12英寸涂膠顯影設(shè)備尚處在專利檢索及技術(shù)評(píng)估階段。
盛美上海也在2022年獲得了大量批量訂單，并成功將立式爐管ALD設(shè)備推向國(guó)內(nèi)的兩家關(guān)鍵客戶；順利向國(guó)內(nèi)客戶交付前道ArF工藝涂膠顯影Track設(shè)備，并將于2023年推出i-line型號(hào)設(shè)備，已開(kāi)始著手研發(fā)KrF設(shè)備。而自2023年以來(lái)，盛美上海已經(jīng)獲得了來(lái)自歐洲一家全球性半導(dǎo)體制造商以及中國(guó)領(lǐng)先的碳化硅襯底制造商的設(shè)備訂單。
而中微公司的南昌生產(chǎn)和研發(fā)基地已基本建成完工，部分生產(chǎn)潔凈室于2022年7月投入試生產(chǎn)；其位于上海臨港的生產(chǎn)和研發(fā)基地預(yù)計(jì)2023年將部分投入使用
此外，芯米半導(dǎo)體首臺(tái)自研自創(chuàng)幻影12英寸光刻工藝涂膠顯影設(shè)備XM300已成功交付國(guó)內(nèi)一線客戶；北京爍科中科信碳化硅離子注入機(jī)順利交付等都為半導(dǎo)體設(shè)備廠商的發(fā)展進(jìn)一步增加了動(dòng)力。
