5月21日，華海清科發(fā)布公告稱，公司新一代12英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile-GP300量產(chǎn)機(jī)臺出機(jī)發(fā)往集成電路龍頭企業(yè)。
公告顯示，12英寸超精密晶圓減薄機(jī)是業(yè)內(nèi)首次實(shí)現(xiàn)12英寸晶圓超精密磨削和CMP全局平坦化的有機(jī)整合集成設(shè)備，Versatile-GP300量產(chǎn)機(jī)臺可穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)12英寸晶圓片內(nèi)磨削總厚度變化＜1um和減薄工藝全過程的穩(wěn)定可控。
Versatile-GP300 機(jī)臺通過創(chuàng)新布局，集成超精密磨削、拋光及清洗單元，配置先進(jìn)的厚度偏差與表面缺陷控制技術(shù)，提供多種系統(tǒng)功能擴(kuò)展選項(xiàng)，具有高精度、高剛性、工藝開發(fā)靈活等優(yōu)點(diǎn)，可以滿足集成電路、先進(jìn)封裝等制造工藝的晶圓減薄需求。
華海清科表示，Versatile-GP300量產(chǎn)機(jī)臺進(jìn)入大生產(chǎn)線，標(biāo)志著其性能獲得客戶認(rèn)可，填補(bǔ)了國內(nèi)芯片裝備行業(yè)在超精密減薄技術(shù)領(lǐng)域的空白。同時隨著先進(jìn)封裝、Chiplet等技術(shù)的應(yīng)用將大幅提升市場對減薄設(shè)備的需求，本次12英寸超精密晶圓減薄機(jī)量產(chǎn)機(jī)臺出貨，將有助于鞏固和提升公司的核心競爭力，對公司未來的發(fā)展將產(chǎn)生積極的影響。
封面圖片來源：拍信網(wǎng)
