據(jù)清楓資本消息，近日，清楓資本完成對(duì)國內(nèi)高端半導(dǎo)體光刻膠廠商徐州博康的數(shù)千萬元投資交割。此前據(jù)天眼查信息，徐州博康發(fā)生了工商變更，新增深圳哈勃為股東，注冊資本從7600.95萬元增至8445.50萬元，增幅為11.11%。
資料顯示，徐州博康成立于2010年3月25日，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、經(jīng)營中高端光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹脂為主的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司生產(chǎn)基地位于江蘇邳州，在上海松江擁有獨(dú)立的研發(fā)中心。
徐州博康專注于光刻膠原材料到成品的自主研發(fā)及生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及終產(chǎn)品光刻膠的國產(chǎn)化自主可控的供應(yīng)鏈。目前，徐州博康擁有ArF/KrF光刻膠單體、ArF/KrF光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品，覆蓋集成電路制造、后段封裝、化合物半導(dǎo)體、分立器件、電子束等市場應(yīng)用，研發(fā)儲(chǔ)備全球80%的光刻膠單體產(chǎn)品技術(shù)，其中KrF光刻膠單體占全球份額超過20%。
在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域，徐州博康已研發(fā)高端ArF光刻膠26款，其中應(yīng)用于通孔工藝的ArF濕法光刻膠，已經(jīng)能夠應(yīng)用至40nm/28nm工藝節(jié)點(diǎn)，是國內(nèi)第一款國產(chǎn)化的ArF濕法通孔光刻膠；徐州博康已研發(fā)高端KrF光刻膠30款，其中主要針對(duì)lift-off工藝的金屬剝離負(fù)膠，底部倒角可控，是目前國內(nèi)唯一可提供此類KrF的產(chǎn)品。此外，徐州博康已研發(fā)I線光刻膠15款，以及3大種類的電子束光刻膠，現(xiàn)已為數(shù)十家企業(yè)和高校提供標(biāo)準(zhǔn)化、定制化的電子束光刻膠產(chǎn)品。
據(jù)了解，徐州博康承擔(dān)了國家“02專項(xiàng)”中的“ArF光刻膠單體產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”的子課題，并得到成功驗(yàn)收。
2022年，徐州博康多款半導(dǎo)體光刻膠相繼獲得了國內(nèi)12寸晶圓廠的訂單，包括ARF-immersion、ARF-dry、KRF、I-line等，可應(yīng)用于14-90nm制程節(jié)點(diǎn)。該公司2023年的重心是實(shí)現(xiàn)不同料號(hào)產(chǎn)品在主流晶圓廠的全面放量。
封面圖片來源：拍信網(wǎng)
