近日，芯碁微裝MAS6直寫光刻設(shè)備成功銷往日本市場。芯碁微裝表示，公司設(shè)備成功開拓日本載板市場，體現(xiàn)客戶對于芯碁微裝產(chǎn)品技術(shù)和質(zhì)量的高度認(rèn)可，同時(shí)為芯碁微裝提供了廣闊的市場拓展空間。
芯碁微裝的MAS6直寫光刻機(jī)設(shè)備是專門面向IC載板（FC-BGA基板、FC-CSP基板）領(lǐng)域量產(chǎn)L/S：10/10μm節(jié)點(diǎn)的客戶需求進(jìn)行開發(fā)。采用DMD直接成像技術(shù)，配合合理的光路設(shè)計(jì)，使得解析精度可至6/6μm；采用高精度的精密位移平臺系統(tǒng)，配合高精度的環(huán)境溫度控制，使得對位精度達(dá)到5μm。
芯碁微裝成立于2015年，專業(yè)從事以微納直寫光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫光刻設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)，設(shè)備產(chǎn)品銷售客戶超過300家，公司在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的發(fā)貨量已累計(jì)超過700臺。
