2022年11月16日，盛美上海宣布濕法設備3000腔交付，其半導體濕法設備2000腔于去年10月18日交付。
目前中國大陸能提供半導體清洗設備的企業(yè)，主要包括盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微等。作為新興的半導體設備企業(yè)，盛美上海主要產品為集成電路領域的單片清洗設備，包括單片SAPS兆聲波清洗設備、單片TEBO兆聲波清洗設備、單片背面清洗設備、單片刷洗設備、槽式清洗設備和單片槽式組合清洗設備等。
盛美上?？偨浝硗鯃员硎?，公司成立以來，從聚焦單片兆聲波清洗設備開始，根據市場需求不斷擴展產品業(yè)務，到現在形成了集成電路專用清洗系列設備（包括單片、槽式、單片槽式組合清洗、背面清洗、邊緣刻蝕清洗、刷洗等）、前道銅互連及先進封裝電鍍設備、先進封裝濕法設備和立式爐管設備等產品。其中，清洗設備以上工藝應用覆蓋率已超過80%，未來有望超過90%，全部產品覆蓋市場空間達到近85億美元。
